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    漆膜測厚儀-硅片清洗機(jī)-鋼板測厚儀-電火花檢漏儀-山東濟(jì)寧魯超超聲設(shè)備公司歡迎您的訪問!

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    濕法腐蝕清洗系統(tǒng)

    發(fā)布時(shí)間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:111次

    濕法腐蝕清洗系統(tǒng)(圖1)

     

     

    主要特點(diǎn):

    成熟的模塊化工藝組合

    可面向用戶工藝需要,定制化設(shè)計(jì)

    已應(yīng)用于20nm級(jí)別IC工藝線

    針對(duì)LED生產(chǎn)線,提高整體解決方案

    全自動(dòng)清洗/手動(dòng)清洗可選

    整機(jī)防漏液設(shè)計(jì)

    廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)

    標(biāo)準(zhǔn)配置:

    高純進(jìn)口板材

    高結(jié)晶工藝管道

    高潔凈氣動(dòng)閥門

    防腐機(jī)械手

    伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

    人機(jī)對(duì)話界面,觸摸屏操作

    標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊

    SC-I溶液腐蝕槽

    SC-II溶液腐蝕槽

    SC-III溶液腐蝕槽

    QDR槽

    循環(huán)清洗槽

    超聲/兆聲清洗槽

    可選模塊:

    鼓氮

    水溶超聲/水浴兆聲槽

    槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)

    漏液檢測

    水阻檢測

    自動(dòng)供液系統(tǒng)

    自動(dòng)配液系統(tǒng)

    自動(dòng)滅火系統(tǒng)(有機(jī)清洗)

    ESD功能(有機(jī)清洗)

    MES接口(可選)

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